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‌压氦法检漏‌是一种利用氦气作为示踪气体，通过将被检测部件充满一定压力的氦气，然后检测氦气的泄漏情况来检测部件是否存在泄漏的方法。这种方法利用了氦气的惰性和低粘滞性，使其容易通过漏孔并易于检测。

压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，真空镀膜机检漏生产厂家，经检漏仪检测总泄漏量。英福康INFICON Hld6000制冷剂泄漏检测器

一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。英福康INFICON Hld6000制冷剂泄漏检测器

一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件，这一批的总漏率没超过报废预定值，说明这一批合格；总漏率超过报废预定值可以取出一半，剩下的一半继续检漏，这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中，依此检漏直至检出有漏孔的器件。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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什么是泄漏，该如何检漏？

一般指工业中不应该流出或漏出的物质或流体，流出或漏出机械设备以外，造成损失，称之为泄漏。而泄漏的原因一般是由压力差和浓度差的作用，如：

1、渗漏：即在压力差作用下，被密封的介质通过密封件材料的泄漏称为渗漏；

2、扩散：即在浓度差作用下，被密封的介质通过密封材料间隙产生的物质传递称为扩散。

泄漏的预防和消除，对于以上任一因素都可以阻止或减少泄漏。就一般设备而言，减小或消除间隙是阻止泄漏的主要途径。

氦质谱检漏仪的选择

选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：

（1）仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合吸*法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有多工位的检漏仪。

（2）仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。

（3）被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。

（4）被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。

（5）如果被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。

（6）如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。

（7）在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。

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广州潽拓光电科技有限公司已成功维修保养多台inficon真空计。

氦质谱检漏方法分析

氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。

氦质谱检漏法有优点在于：氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。氦质谱检漏仪检测灵敏度高，充气柜真空箱测漏系统，速度快，适用范围广。

目前国内生产氦质谱检漏仪较小可检漏率可达到5.0×10-13 Pa·m3/s。目前，国内外比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法

知道被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒尘土，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需求知道气体成分，关于被抽气体选择相应的泵。若是气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，大约思考在泵的进气口管路上装置辅佐设备，如冷凝器、除尘器等。

　真空泵容易发生故障，一般情况下还没有废弃的情况下，可以进行维护。

既然要*底进行保养恢复，就不仅仅是将消耗品分解、更换、组装。 在真空泵保养较多的保养方式中，Z重要的是间隙的调整，真空泵叶片的固定、汽缸的磨损、真空泵的真空度不足、噪音异常是一般的真空泵保养。

但是，真空泵*裂或发生其他严重问题时，必须根据损坏的零件来判断是否可以进行维护。

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